Słownik pojęć
głęboka litografia ultrafioletowa
Definicja, znaczenie i użycie terminu w kontekście publikacji.
Technologia wytwarzania układów scalonych, w której światło ultrafioletowe o krótkiej długości fali służy do odwzorowywania wzorów na powierzchni wafla półprzewodnikowego.
Głęboka litografia ultrafioletowa wykorzystuje promieniowanie ultrafioletowe do przenoszenia bardzo drobnych wzorów na warstwę materiału światłoczułego. Wzory te tworzą kolejne elementy układu scalonego podczas procesu produkcji chipu. Technologia ta jest jednym z etapów wytwarzania urządzeń półprzewodnikowych.