Słownik pojęć
Hybrid bonding
Definicja, znaczenie i użycie terminu w kontekście publikacji.
Technika łączenia warstw układu przez bezpośrednie połączenie przygotowanych powierzchni miedzi i tlenku, bez użycia tradycyjnych mikrowypustek.
Hybrid bonding polega na bardzo dokładnym spłaszczeniu i ustawieniu powierzchni łączonych warstw, a następnie zespoleniu ich w procesie obejmującym miedź oraz warstwę tlenkową. Technika może zmniejszyć odstępy między warstwami i poprawić odprowadzanie ciepła, lecz wymaga wysokiej precyzji przy wielowarstwowym stosie.